等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的等離子體中含有各類粒子，這些粒子在等離子體環(huán)境中的運(yùn)動規(guī)律決定了該等離子體的性質(zhì)，今天我們探討的是粒子碰撞的類型。
 

　　真空(低壓)環(huán)境下的等離子體：
 

　　等離子體中粒子間的碰撞類型大致可分為彈性碰撞和非彈性碰撞兩種。
 

　　1 彈性碰撞
 

　　等離子體的碰撞過程中粒子的總動量守恒，總動能守恒，參與碰撞的粒子內(nèi)能不變，沒有新的粒子或光子產(chǎn)生，只改變粒子速度，發(fā)生動量和動能轉(zhuǎn)換，這類碰撞稱為彈性碰撞。

 

　　2 非彈性碰撞
 

　　等離子體的碰撞過程中粒子的總動量守恒，總動能不守恒，而且至少有一個(gè)粒子的內(nèi)能發(fā)生改變，如伴隨新的粒子、光子產(chǎn)生，這類碰撞稱為非彈性碰撞。
 

　　因?yàn)榈入x子體的粒子內(nèi)能發(fā)生改變，粒子狀態(tài)也會起變，有時(shí)伴隨輻射，甚至產(chǎn)生新的粒子，如等離子體中的激發(fā)、電離及核聚變過程。下表列出非彈性碰撞的類型.。當(dāng)電子和原子發(fā)生非彈性碰撞時(shí)，電子的動能轉(zhuǎn)換成原子內(nèi)能的效率是比較高的，大時(shí)可實(shí)現(xiàn)能量的全部轉(zhuǎn)換;而當(dāng)離子和原子發(fā)生非彈性碰撞時(shí)，轉(zhuǎn)換能量則比較低，z高只能轉(zhuǎn)換能量的一半。
 

　　非彈性碰撞類型
 

　　因此只要電子的能量大于原子的激發(fā)能和電離能，就有可能使原子激發(fā)或電離，而離子必須具備兩倍以上的激發(fā)能或電離能，才有可能產(chǎn)生激發(fā)或電離。事實(shí)上，當(dāng)離子的能量為電離能的幾倍時(shí)，發(fā)生非彈性碰撞的幾率仍然是很小的，只有當(dāng)離子速度與電子速度處于同一數(shù)量級時(shí)，離子才具有與電子相比擬的發(fā)生非彈性碰撞的幾率。